半导体材料与器件研究中心张顺平副教授
张顺平，材料学博士，华中科技大学副教授。长期从事气敏材料研发、气敏传感器阵列微型化制造、气体/气味分析仪器研制及应用方面的研究。主持国家自然科学基金2项，省部级研究项目3项；以第一作者或通讯作者发表SCI论文20余篇；获得国家发明专利10余项。开发了多种气体传感器，以及顶空式、泵吸式、手机附件式等多款气味分析仪，并与华为、武烟集团、化工材料研究所、核物理与化学研究所、防化学院等单位开展应用合作与推广，为相关单位提供了气体检测与气味分析成套解决方案。主要研究成果包含：
◆基于组合材料学方法，开发了气敏材料并行合成仪、气敏材料高通量测试仪，可高速的实现气敏材料高通量筛选。
图1 气敏材料并行合成仪
图2 气敏材料高通量测试仪
◆集成开发气体传感器微加工平台，实现非硅基气体传感芯片的MEMS制造技术，含陶瓷基的光刻、磁控溅射、刻蚀、划片、微喷成膜、封装等功能。
图3 气体传感器微加工平台
图4 气体传感器微加工平台软件
◆设计并制造了16元件阵列微热板型气味传感器及模组，并基于该传感器，设计开发了系列化的、适用不同应用的测试仪器，包括：顶空气味分析仪、泵吸气味分析仪、U盘式气体传感模组、手环式气体检测仪等，并与相关企业合作，应用到烟草仓储、粮食霉变、皮革异味、中药质量监测等领域。
图5 微热板阵列气味传感器芯片(左)及模组(右)
图6 泵吸气味模组
图7 顶空气味分析仪
图8 手持泵吸检防化气体测仪
图9 手持泵吸检防化气体测仪
图10 U盘式气体传感模组
图11 安全作业用气味报警智能手环
图12 皮革异味检测
图13 烟草仓储气味检测
图14 中药质量检测
图15 粮食发酵检测
图16 粮食霉变检测
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